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霍爾傳感器未來的發(fā)展方向

三是測量電流強度。
將霍爾器件的輸出(必要時可進行放大)送到經(jīng)校準的顯示器上，即可由輸出電壓的數(shù)值直接得出被測電流值。這種方式的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單，測量結(jié)果的精度和線性度都較高，可測直流、交流和各種波形的電流。但它的測量范圍、帶寬等受到一定的限制。當然，也可采取一些改進措施，例如選擇飽和磁感應強度高的磁芯材料，制成多層磁芯，采用多個霍爾元件來進行檢測等等。這類霍爾電流傳感器的價格相對較低，使用非常方便，已得到廣泛的應用，國內(nèi)外已有許多廠家在生產(chǎn)。
四是測量微小位移。
如果霍爾元件的工作電流保持不變，而使其在一個均勻梯度磁場中移動，它輸出的霍爾電壓值只由它在該磁場中的位移量來決定。用霍爾元件測量位移的優(yōu)點很多，如慣性小、頻響快、質(zhì)量可靠、壽命長。以微位移檢測為基礎(chǔ)，可以構(gòu)成壓力、應力、應變、機械振動、加速度、重量等霍爾傳感器。
隨著電子技術(shù)的進一步發(fā)展，業(yè)界對霍爾器件提出了一些新的要求：
新的器件結(jié)構(gòu)
常規(guī)霍爾元件要求磁場垂直于霍爾元件，且在整個霍爾元件上是均勻磁場。而在其他情況下，需要根據(jù)磁場分布情況，設(shè)計各種各樣相應的非平面霍爾結(jié)構(gòu)。其中，垂直式霍爾器件是新開發(fā)出來的，具有低噪聲、低失調(diào)和高穩(wěn)定性的特點。
新的應用環(huán)境要求霍爾器件更加小型化、更高的靈敏度且集成度更高。為了適用于空間較小的檢測環(huán)境，例如電動機中的間隙、磁力軸承以及其他像永磁體掃描等需接近測量表面的場合，需要更加小型化的器件。
另外，為了檢測更小的變化量，需要靈敏度更高的器件。器件的小型化不僅適應了新的應用環(huán)境，也降低了器件成本。
國外霍爾傳感器的發(fā)展方向就是采用CMOS(互補金屬氧化物半導體)技術(shù)的高度集成化，同樣功能可以集成在非常小的芯片內(nèi)，如信號預處理的最主要部分已在霍爾器件上完成。其中包括前置放大、失調(diào)補償、溫度補償、電壓恒定等，并且可以在芯片上集成許多附加功能，如數(shù)據(jù)存儲單元、定時器A/D轉(zhuǎn)換器、總線接口等。所有這些都采用CMOS標準，它們開辟了霍爾器件新的應用領(lǐng)域。
由于采用了微電子工藝，硅霍爾傳感器能很好地適用于許多工業(yè)應用，這極大地推動了霍爾器件的發(fā)展。目前，國外霍爾傳感器的研發(fā)進展迅速，不僅解決了與EMC(電磁兼容性)器件的協(xié)同工作問題，而且感應精度也得到了提高。但是，霍爾傳感器的可靠性將是下一步必須著重考慮的問題。